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面向MEMS制造的高速精密定位平台的动力学仿真和结构设计
  • 期刊名称：赵兴玉, 冯晓梅, 武一民, 张大卫. 面向MEMS制造的高速精密定位平台的动力学仿真和结构设计,
  • 时间：0
  • 相关项目：面向IC封装的高速精密定位系统及关键技术
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