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Optimizations of inductively coupled plasma etching and design for sensing window of Mach-Zehnder in
  • ISSN号:0217-9849
  • 期刊名称:Modern Physics Letters B
  • 时间:2014.3.10
  • 页码:-
  • 相关项目:聚合物电光开关阵列的S+C+L超宽波段光谱平坦化及失效模式研究
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