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光学邻近效应矫正(OPC)技术及其
  • 期刊名称：中国科学，E辑，Vol.37, No.12, pp1607-1619, 2007 Dec.
  • 时间：0
  • 相关项目：面向SOC低功耗物理设计的方法研究
作者： 蔡懿慈，周强，洪先龙，石蕊，王
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