位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
nm级制造用三维微定位的扫描探针显微镜
  • 期刊名称：华中理工大学学报
  • 时间：0
  • 页码：1996.No.4
  • 语言：中文
  • 相关项目：基于隧道效应的纳米加工原理与技术研究
作者： 张鸿海等|
同期刊论文项目
基于隧道效应的纳米加工原理与技术研究
期刊论文 6
同项目期刊论文
Study on the scanning probe microscope with wide measuring range
超精加工分析用宽范围原子显微镜的研究
A Circular arc bending model of piezoeleetvic t ube scanners
用于纳米级制造具有XYZ微定位的扫描探针显微镜
Compensation method based on formularizing hystmesis of Piezodectio tube scannors