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A sub-nanometric three-axis surface encoder with short-period planar gratings for stage motion measu
  • ISSN号：0141-6359
  • 期刊名称：Precision Engineering-Journal of the International
  • 时间：2012.10.10
  • 页码：576-585
  • 相关项目：基于二维拼接光栅尺的3自由度大范围位移测量
作者： Kimura, Akihide|Gao, Wei|Kim, WooJae|Hosono, Koji|Shimizu, Yuki|Shi, Lei|Zeng, Lijiang|
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