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基于二维拼接光栅尺的3自由度大范围位移测量
  • 项目名称：基于二维拼接光栅尺的3自由度大范围位移测量
  • 项目类别：国际(地区)合作与交流项目
  • 批准号：61111140018
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：曾理江
  • 依托单位：清华大学
  • 批准年度：2011
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 3
  • 6
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  • 0
期刊论文
A sub-nanometric three-axis surface encoder with short-period planar gratings for stage motion measu
Fabrication of optical mosaic gratings: a self-referencing alignment method
会议论文
Heterodyne planar grating encoder with high alignment tolerance, especially insensitivity to grating
Fabrication of diffraction gratings for surface encoders by using a Lloyd’s mirror interferome
Laser interference lithography of gratings for a surface encoder
Fabrication of large grating using the optical mosaic technique
Fabrication of optical mosaic gratings by consecutive holographic exposures employing a latent-fring
Fabrication of large mosaic gratings by locking the exposure fringes to the latent gratings
曾理江的项目
第七届国际纳微米测量技术和智能仪器学术交流会（2005）
第三届海峡两岸制造技术研讨会
大尺寸二维全息光栅的制作技术
期刊论文 3 会议论文 6
仿生机械
期刊论文 22 会议论文 4
提高二维计量光栅面形精度的方法
基于外差干涉测量技术的严格光栅拼接方法
期刊论文 6 会议论文 1
昆虫拍打飞行仿生机理研究
拼接光栅的误差分离及其在高精度、大范围位移测量中的应有
微小生物结构仿生研究
期刊论文 15 会议论文 3
昆虫拍打飞行信生机理研究
宽带光源无色差频移方法及长度标准光网传输研究
期刊论文 7 会议论文 1