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投影电子束光刻中电子穿透掩膜的
  • 期刊名称：《物理学报》，2006年55卷5803－5807页
  • 时间：0
  • 相关项目：角度限制散射投影电子束光刻的蒙特卡洛模拟
作者： 肖沛、张增明*、孙霞、丁泽军
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