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Preparation of porous alumina abrasives and their chemical mechanical polishing behavior
  • ISSN号：0040-6090
  • 期刊名称：Thin Solid Films
  • 时间：0
  • 页码：2868-2872
  • 相关项目：液体喷射抛光微观材料去除机理的研究
作者： Lei, Hong|Wu, Xin|Chen, Ruling|
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