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Material removal mechanism during porous silica cluster impact on crystal silicon substrate studied
  • ISSN号：0169-4332
  • 期刊名称：Applied Surface Science
  • 时间：0
  • 页码：148-156
  • 相关项目：液体喷射抛光微观材料去除机理的研究
作者： Chen Ruling|Jiang Ranran|Lei Hong|Liang Min|
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