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磁控溅射法制备铁酸铋基薄膜的研究进展
  • ISSN号：1001-9642
  • 期刊名称：中国陶瓷
  • 时间：2014.6.5
  • 页码：5-9
  • 分类：TM221[电气工程—电工理论与新技术;一般工业技术—材料科学与工程]
  • 作者机构：重庆科技学院冶金与材料工程学院
  • 相关基金：国家自然科学基金(51102288,51372283);重庆市教委科学技术研究项目(KJ131402);重庆市自然科学基金(CSTC2012jjA50017);重庆科技学院博士教授科研启动基金(CK2013B08)
  • 相关项目：基于原位光辐照扫描探针的铁电薄膜电畴驱动光伏的机制研究
作者： 孙远洋|雷天宇|张玉|任红|蔡苇|符春林|
关键词： 铁酸铋薄膜, 磁控溅射, 铁电, 介电
中文摘要：

铁酸铋材料是唯一的室温单相多铁材料,在微电子学、光电子学等领域具有广泛的应用。磁控溅射法是制备铁酸铋薄膜的一种常见手段。本文综述了射频磁控溅射制备铁酸铋薄膜的研究进展,详细阐述了溅射工艺参数(靶材、缓冲层、溅射气压、氧气压力、沉积温度)对其微结构与电性能的影响,并提出了亟待解决的问题。

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期刊信息
  • 《中国陶瓷》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:中国轻工业陶瓷研究所
  • 主办单位:中国轻工业陶瓷研究所
  • 主编：吴先益
  • 地址：江西景德镇市新厂西路556号
  • 邮编：333000
  • 邮箱：china_ceramics@vip.163.com
  • 电话：0798-8439006 8439093
  • 国际标准刊号：ISSN：1001-9642
  • 国内统一刊号：ISSN：36-1090/TQ
  • 邮发代号:44-30
  • 获奖情况:
  • 核心期刊（中文核心期刊、中国科技核心期刊、中国...
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）
  • 被引量:8134