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坩埚预处理技术在氮化铝晶体生长工艺中的应用
  • ISSN号:1000-985X
  • 期刊名称:《人工晶体学报》
  • 时间:0
  • 分类:O782[理学—晶体学]
  • 作者机构:[1]深圳大学光电子学研究所,深圳518060
  • 相关基金:国家自然科学基金(No.60376003,No.60576005);广东省自然科学基金(No.04011297);教育部科技研究重点项目(E200533号);深圳市科技计划费用项目(200517)
中文摘要:

在氮化铝晶体生长工艺中,坩埚的使用寿命是主要技术难点之一。实验发现,在钨坩埚体和盖之间放置内径和外径与坩埚相同的石墨环,在氮气环境下进行一次高温处理,使钨坩埚体与盖接触的部位形成碳化钨保护层,可以有效地解决高温下钨坩埚体与盖相粘结的问题,大大提高了坩埚的使用寿命。使用经过预处理的钨坩埚,用物理气相法生长出φ0.8mm×1.5mm氮化铝单晶体和φ36mm×5mm氮化铝多晶片。

英文摘要:

The lifetime of the crucible is one of the main difficulties in the growth process of AIN crystals. A graphite ring with the same interrtal and external diameters as the crucibles was inserted between the tungsten crucible and its lid. After a high-temperature pretreatment in nitrogen Ambient for the crucible and graphite ring subassembly, a tungsten carbide protecting film was formed on the contacting area of the crucible and its lid. This pretreatment process can avoid effectively the bonding of the crucible and its lid, and increase greatly the crucible lifetime. By using the pretreated tungsten crucible, AlN single crystals of 0.8mm diameter and 1.5mm long and polycrystalline AlN boules of 36mm diameter and 5mm long were grown by physical vapor transport technology.

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期刊信息
  • 《人工晶体学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国建材工业协会
  • 主办单位:中国硅酸盐学会 晶体生长与材料专业委员会 中材人工晶体研究院
  • 主编:余明清
  • 地址:北京市733信箱
  • 邮编:100018
  • 邮箱:
  • 电话:010-65492963 65492968 65493320
  • 国际标准刊号:ISSN:1000-985X
  • 国内统一刊号:ISSN:11-2637/O7
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 1997年获国家科技优秀期刊,获部级优秀科技期刊奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:9943