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傅里叶变换轮廓术新理论研究
  • ISSN号:0258-7025
  • 期刊名称:中国激光
  • 时间:0
  • 页码:97-102
  • 语言:中文
  • 分类:O438.2[机械工程—光学工程;理学—光学;理学—物理]
  • 作者机构:[1]四川大学光电科学技术系,四川成都610064
  • 相关基金:国家自然科学基金(60527001)资助项目.
  • 相关项目:动态过程三维成像关键技术与仪器
中文摘要:

采用传统的傅里叶变换轮廓术(FTP),必须保证投影装置出射光瞳和成像装置入射光瞳的连线与参考面平行,并且它们的光轴应在同一平面上,才能得到较为准确的测量结果。改进了傅里叶变换轮廓术测量装置,从理论上证明了双瞳连线不平行参考面,且双光轴也不共面时的测量原理,推导出了新的、适用范围更广泛的相位-高度映射算法,使实验系统的搭建变得比较容易,投影装置和成像装置的摆放位置可以随意移动以方便获取全场条纹。所提出的方法为在难以实现双瞳与参考面平行或难以使双轴共面的特殊环境下提供了获得可靠测量结果的途径,并且传统的傅里叶变换轮廓术测量系统是所提出系统结构的一个特例。计算机模拟及实验均证实了该方法的有效性。

英文摘要:

In order to obtain the correct height reconstruction of a measured object through the traditional Fourier transform profilometry (FTP), the connecting-line between the exit pupil of the projecting lens and the entrance pupil of the imaging lens must be horizontal and set to parallel to the reference plane. Here an improved optical geometry of FTP is discussed, and a strict theoretical analysis about an improved phase-height mapping formula based on a new description of a reference fringe and a deformed fringe in FTP is proposed in this paper when the location of the exit pupil of the projecting lens and that of the entrance pupil of the imaging lens do not meet the conditions. Employing the new theory, it is easier to obtain the full-field fringe through adjusting either the location of the projector or imaging device. Especially, in some cases, i. e. , the connecting-line of the two pupils cannot be set parallel to the reference plane and the requived conditions that the projecting and imaging axes must be horizontal cannot be met, the new method offers a flexible way to obtain the reliable height distribution of a measured object. Computer simulations and experiments have proved its correctness.

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期刊信息
  • 《中国激光》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国光学学会 中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 主编:周炳琨
  • 地址:上海市嘉定区清河路390号
  • 邮编:201800
  • 邮箱:cjl@siom.ac.cn
  • 电话:021-69917051
  • 国际标准刊号:ISSN:0258-7025
  • 国内统一刊号:ISSN:31-1339/TN
  • 邮发代号:4-201
  • 获奖情况:
  • 中国自然科学核心期刊,物理学类核心期刊,无线电子学·电信技术类核心期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:26849