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衍射光栅机械刻划工艺理论分析与实验研究
  • ISSN号:1004-132X
  • 期刊名称:中国机械工程
  • 时间:2014.1.1
  • 页码:1-6
  • 分类:TH164[机械工程—机械制造及自动化]
  • 作者机构:[1]长春理工大学,长春,130022
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(51075042);吉林省科技发展计划资助项目(20080534);长春理工大学科技创新基金资助项目(2021000422)
  • 相关项目:衍射光栅机械刻划理论及刀具设计研究
中文摘要:

目前,“试刻划”加工光栅的工艺模式耗时长、效率低,且机械刻划光栅的槽形无法准确预控。通过纳米压痕实验对光栅刻划铝薄膜的微观结构及力学性能进行了表征,采用DEFORM有限元分析软件并结合正交试验对成槽过程进行了研究,通过对数据进行极差分析和单因素影响规律实验分析,建立了槽底角数学工艺模型。研究结果表明,光栅刻划过程可转化为楔体下压过程,基于有限元模拟实验的槽底角数学工艺模型可用。

英文摘要:

At present, the "test score" processing of grating process model has the characteristics of timeconsuming and low efficiency, and grating trough of mechanical characterization can't be pre controlled accurately. The microstructure and mechanical properties of grating score aluminum film were characterized herein through nanoindentation experiments. Formation of trough were studied by using finite element analysis software Deform combined with orthogonal tests. Trough base angle process model was established through study of the range data analysis and the effects of single factor experimental analysis of the data. The results show that, the process can be converted into grating wedge press process, based on the finite element simulation of tank base angle process model is availa ble simultaneously.

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期刊信息
  • 《中国机械工程》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学技术协会
  • 主办单位:中国机械工程学会
  • 主编:董仕节
  • 地址:湖北工业大学772信箱
  • 邮编:430068
  • 邮箱:paper@cmemo.org.cn
  • 电话:027-87646802
  • 国际标准刊号:ISSN:1004-132X
  • 国内统一刊号:ISSN:42-1294/TH
  • 邮发代号:38-10
  • 获奖情况:
  • 1997年获中国科协期刊一等奖,第二届全国优秀科技...,机械行业优秀期刊一等奖,1999年获首届国家期刊奖,2001年获首届湖北十大名刊,中国期刊方阵“双高”期刊,2003第二届国家期刊奖提名奖,百种中国杰出学术期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:50788