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Gate Capacitance Measurement Using a Self-Differential Charge-Based Capacitance Measurement Method
  • ISSN号：0741-3106
  • 期刊名称：IEEE Electron Device Letters
  • 时间：2015.12
  • 页码：1271-1273
  • 相关项目：面向28-14nm的高空间分辨率工艺偏差在线检测关键技术研究
作者： Zhang, Peiyong|Wan, Qing|Feng, Chenhui|Wang, Huiyan|
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