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Characterization of carbon nitride films modified by low energy ion-beam bombardment
  • 期刊名称:NIM B
  • 时间:0
  • 页码:1996,117,249-252
  • 语言:英文
  • 相关项目:激光烧蚀成膜动力学过程的光谱/质谱研究
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