激光烧蚀成膜动力学过程的光谱/质谱研究-东篱科研大数据发现系统（DRDS）

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激光烧蚀成膜动力学过程的光谱/质谱研究

项目名称：激光烧蚀成膜动力学过程的光谱/质谱研究
项目类别：面上项目
批准号：69378029
申请代码：F050602
项目来源：国家自然科学基金
研究期限：1994-01-01-1996-12-01

项目负责人：王培南
负责人职称：教授
依托单位：复旦大学
批准年度：1993

中文摘要：

本项目用光谱/质谱方法重点研究了激光烧蚀氮气放电产生氮化物的动力学过程。自行设计了利用直流辉光放电来产生氮原子离子束的装置，产生的原子和分子离子之比可高达51，远远大于传统方法得到的原子分子比，利用该装置研究了氮原子束和材料表面的反应以及和激光烧蚀等离子体反应生成的碳氮复合团簇。这些结果被第三届亚洲国际原子分子物理会议（1996，10）接受为大会邀请报告。我们还发射光谱和时间分辨光谱方法研究了氮气脉冲放电等离子体的成分与放电条件的关系，研究了氮气放电等离子体与激光烧蚀金属等离子体的相互作用，为制备氮化物的最优条件提供了可靠的依据。

中文主题词：激光烧蚀成膜动力学过程光谱/质谱

成果综合统计