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基于Verilog-A的电容式MEMS加速
  • 期刊名称：传感技术学报，已录用
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  • 相关项目：驱动和检测具有滑膜阻尼的新型音叉式微陀螺研究
作者： 赵楷 熊斌 车录锋
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