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具有隔离结构的横向接触式体硅微
  • 期刊名称：北京大学学报（自然科学版）第40卷，第3期，pp397-401，2004年5月
  • 时间：0
  • 相关项目：DRIE工艺及其复杂现象的机理与建模研究
作者： 杨振川，李婷，郝一龙，武国英
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