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基于低能场发射电子的三维微纳加工与原位测量系统
  • 项目名称:基于低能场发射电子的三维微纳加工与原位测量系统
  • 项目类别:国家重大科研仪器设备研制专项
  • 批准号:61327813
  • 项目来源:国家自然科学基金
  • 研究期限:1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人:裘晓辉
  • 依托单位:国家纳米科学中心
  • 批准年度:2013

成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 2
  • 0
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