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基于光学校正的超深亚微米IC版图精确设计技术研究
  • 项目名称：基于光学校正的超深亚微米IC版图精确设计技术研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：60176015
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：严晓浪
  • 依托单位：浙江大学
  • 批准年度：2001
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 3
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期刊论文
超深亚微米与纳米级标准单元的可制造性设计与验证技术
亚波长光刻离轴照明和次分辨率辅助图形技术
一种超深亚微米下IC光刻透射成像的快速算法
严晓浪的项目
系统芯片的设计方法及其EDA关键技术的研究