金属纳米颗粒分散氧化物非线性光学薄膜作为光波分离器﹑光开关等在光通信领域具有潜在的应用前景,其制备技术与结构分析是目前倍受关注的研究方向之一。本项目通过研究Au/SiO2纳米复合薄膜的微结构及其对光吸收的影响机理和理论模拟光吸收光谱,系统的归纳出金属纳米颗粒的形貌、分散尺度、分散浓度以及层状结构与光吸收特性的依存关系。主要创新点表现在使用多靶磁控溅射技术制备的纳米金颗粒分散氧化物复合薄膜不仅其金颗粒微细、分散均匀、且形成独特的纳米层状结构。薄膜制备与表征相结合,利用透射电镜揭示薄膜的横截面和纵断面的显微结构特征,有利于深入研究纳米金属颗粒分散氧化物多层薄膜的结构对光学性能的影响机理,为制备高性能的复合非线性光学薄膜提供一种设计思路。
英文主题词Nano metal-particle dispersed oxides; sputtering; multilayer thin film; optical absorption spectra