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化学退火改善非晶硅稳定性的研究
  • 项目名称：化学退火改善非晶硅稳定性的研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：69276009
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：廖显伯
  • 依托单位：中国科学院半导体研究所
  • 批准年度：1992
廖显伯的项目
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期刊论文 8 会议论文 6