基于复合弹性研抛盘的非晶薄膜衬底分级研抛新方法研究-东篱科研大数据发现系统（DRDS）

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基于复合弹性研抛盘的非晶薄膜衬底分级研抛新方法研究

项目名称：基于复合弹性研抛盘的非晶薄膜衬底分级研抛新方法研究
项目类别：青年科学基金项目
批准号：51205358
申请代码：E050903
项目来源：国家自然科学基金
研究期限：2013-01-01-2015-12-31

项目负责人：金明生
依托单位：浙江工业大学
批准年度：2012

中文摘要：

针对非晶薄膜衬底少、无损伤，超光滑和高精度表面的加工需求，提出基于复合弹性研抛盘的分级研抛新方法，其原理和创新是将磨粒弹性固结于复合弹性研抛盘，利用复合弹性层的力学性能，形成对磨粒的弹性支撑和柔性力学行为约束，实现磨粒与衬底的软性接触；采用吸水高聚物实现研抛盘的溶胀磨削脱落自修整功能，保证衬底平面度，延长研抛盘使用寿命；利用表面分级设计，在一个研抛盘上实现研磨和抛光工序的连续衔接；利用结构化流道，改善研抛盘上液固两相的流动性能等；利用自动化控制，实时调控衬底与研抛盘之间的接触压力和相对运动速度等，进行多目标工艺实验，以期在获得衬底加工精度和超光滑表面的同时，有效减少其表层亚表层的损伤和残余应力等。本项目的研究对促进非晶态材料和光伏技术的发展，丰富超精密加工理论，特别是非晶薄膜衬底的相关加工理论和技术，具有重要的现实意义，对光学元件、半导体材料的超精密加工也有一定的指导和应用意义。

中文主题词：复合弹性；非晶薄膜衬底；分级研抛；加工工艺；原型系统

结论摘要：

英文主题词composite elastic；amorphous thin-film substrate；grading lapping and polishing；processing technic；prototype system

成果综合统计