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用溶胶－凝胶工艺研制二氧化硅驻极体和微电子介质薄膜
  • 项目名称：用溶胶－凝胶工艺研制二氧化硅驻极体和微电子介质薄膜
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：59372110
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：夏钟福
  • 依托单位：同济大学
  • 批准年度：1993
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