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高电荷稳定性Si3N4/SiO2双层驻极膜性能和储电机制研究
  • 项目名称：高电荷稳定性Si3N4/SiO2双层驻极膜性能和储电机制研究
  • 项目类别：专项基金项目
  • 批准号：59682003
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：夏钟福
  • 依托单位：同济大学
  • 批准年度：1996
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
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期刊论文
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