位置：立项数据库 > 立项详情页
基于气流转子的六自由度MEMS惯性传感器研究
  • 项目名称：基于气流转子的六自由度MEMS惯性传感器研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：61273052
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：常洪龙
  • 依托单位：西北工业大学
  • 批准年度：2012
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 4
  • 0
  • 0
  • 0
  • 0
期刊论文
基于间断性腐蚀法的铂热敏传感器的研制
基于TPWL方法的MEMS热微执行器的热电耦合宏建模
基于∑-△M的五阶MFLR数字微加速度计闭环控制系统
Notching效应在MEMS风速仪制造工艺中的应用
常洪龙的项目
高精度微机械陀螺的“虚拟/灵巧”实现方法
期刊论文 17 会议论文 4 专利 2
基于孔径连续可调“微网筛”结构的细胞分选方法
期刊论文 9 会议论文 1 获奖 2 专利 1
基于模态局部化的弱耦合谐振式惯性敏感机理及器件研究
　支持任意流程的MEMS设计工具关键技术研究
期刊论文 1