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高效能长寿命纯电感耦合射频等离子体电子中和器机理研究
  • 项目名称：高效能长寿命纯电感耦合射频等离子体电子中和器机理研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：11475059
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：陈庆川
  • 依托单位：核工业西南物理研究院
  • 批准年度：2014
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