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面向非硅微结构的基础力学特性的微拉伸测试方法及设备
项目名称: 面向非硅微结构的基础力学特性的微拉伸测试方法及设备
批准号:2006AA04Z326
项目来源:“十一五”国家高技术研究发展计划(863计划)先进制造技术领域2006年度专题课题
研究期限:2006-11-
项目负责人:汪红
依托单位:上海交通大学
批准年度:2006
成果综合统计
成果类型
数量
期刊论文
会议论文
专利
获奖
著作
2
0
0
0
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期刊论文
用于MEMS惯性开关的微弹簧有限元动力学分析
基于UV-LIGA技术的微孔异形喷丝头制备
汪红的项目
永磁锁定的双稳态电热微驱动器预微继电器研究
期刊论文 14
会议论文 6
专利 6