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基于UV-LIGA技术的微孔异形喷丝头制备
  • ISSN号:1000-9787
  • 期刊名称:《传感器与微系统》
  • 时间:0
  • 分类:TN23[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200240
  • 相关基金:国家“863”计划资助项目(2006AA04Z308,2006AA04Z326)
中文摘要:

为了实现微孔喷丝头的多元化截面形状,采用紫外(UV)-LIGA技术和激光焊接的方法,初步探索了UV-LIGA技术在制备异形微喷嘴上的应用。应用UV-LIGA技术电铸出不同孔形的喷丝头底板,并采用激光焊接技术实现底板和冲压外框的整体成型。实验结果表明:以UV-LIGA技术替代LIGA技术加工的喷丝头微孔侧壁光洁,截面形状多样,孔形均一性好,加工成本低廉。

英文摘要:

To product diversiform profiles of microfiber spinneret, application of UV-LIGA technique to fabricate profiles of microfiber are preliminarily discussed by UV-LIGA technique and laser welding technology. Spinneret plate is deposited by electrotyping method firstly, then the entire forming of spinneret is realized by using laser welding. The experiment results show that profiled microfiber spinneret has not only smooth surface of profiles, various and uniform section shapes, but also lower cost.

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期刊信息
  • 《传感器与微系统》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国电子科技集团公司
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
  • 主编:吴亚林
  • 地址:哈尔滨市南岗区一曼街29号四十九所
  • 邮编:150001
  • 邮箱:st_chinasensor@126.com
  • 电话:0451-82510965
  • 国际标准刊号:ISSN:1000-9787
  • 国内统一刊号:ISSN:23-1537/TN
  • 邮发代号:14-203
  • 获奖情况:
  • 获全国优秀科技期刊三等奖,获1996年度黑龙江省科技期刊评比,优秀科技期刊壹等奖,获《CAJ-CD》执行优秀奖,获信息产业部2001-2002年度电子科技期刊规范化奖,获信息产业部2003-2004年度优秀电子科技期刊奖,获信息产业部2005-2006年度优秀电子科技期刊奖,获工业和信息化部2007-2008年度电子精品科技期刊奖
  • 国内外数据库收录:
  • 中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版)
  • 被引量:10819