中文摘要：

本项目提出利用近代物理研究所现有的两台高电荷态ECR离子源对ECR等离子体产生的极紫外光和软X射线进行系统的理论和实验研究，对高电荷态ECR等离子体成为一种长寿命、高亮度、多用途的新型极紫外和软X射线桌面光源在物理机制和关键技术上进行前期探索，将有可能在高亮度、高功率的极紫外光产生方面获得突破，使我国在下一代极紫外光刻和紧凑型软X射线光源等方面占领先机。主要研究内容是对所产生的极紫外波段和软X射线的辐射功率及光谱进行系统的测量和优化实验研究，重点是增强某特定波长的极紫外光和软X射线的功率，并对其产生机制进行理论模拟。根据实验研究和理论模拟结果给出世界上首台专门用于产生高亮度、高功率极紫外光和软X射线的ECR等离子体光源设计方案。