中文摘要：

采用自洽微波功率吸收，并计入中性粒子输运效应的电子流体—离子粒子的两维混合模型，研究了ECR等离子体参数及工艺特征参数随运行条件的变化，结果表明等离子体参数（电子温度、电离速率、等离子体密度及位势）与微波功率吸收剖面保持相近或相似的分布特征；离子速度分布随运行条件（如气压）及空间位置的变化会出现模式的变化；基板表面的离子电流密度随气压的增加会出现饱和现象。在适当的运行件下，ECR等离子体工艺中会出现磁滞现象，考虑了电子与中性气体的碰撞后，不稳定区与稳定区的参数空间更加接近，但稳定区有较高的电子温度。这些研究对抑制ECR等离子体在微电子工业应用中出现的不稳定现象具有重要的参考价值和指导作用。

结论摘要：

采用自洽微波功率吸收，并计入中性粒子输运效应的电子流体－离子粒子的两维混合模型，研究了ＥＣＲ等离子体参数及工艺特征参数随运行条件的变化，结果表明等离子体参数（电子温度、电离速率、等离子体密度及位势）与微波功率吸收剖面保持相近或相似的分布特征；离子速度分布随运行条件（如气压）及空间位置的变化回出现模式的变化；基板表面的离子电流密度随气压的增加会出现饱和现象。在适当的运行条件下，ＥＣＲ等离子体工艺中会出现磁滞现象，考虑了电子与中性气体的碰撞后，不稳定区与稳定区的参数空间更加接近，但稳定区有较高的电子温度。这些研究对抑制ＥＣＲ等离子体在微电子工业应用中出现的不稳定现象具有重要的参考价值和指导作用。