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中文摘要：
应用蒙特卡洛方法分析声子在超晶格结构中的输运问题，定量分析声子间N、U散射、界面散射及尺度效应对超晶格热传导率的贡献。应用微加工技术建立测量薄膜热传导的3Ω实验台，测量超晶格生长方向、界面方向的热传导系数，修正蒙胧特卡洛模型。建立优化超晶格结构的优化模型，优化超晶格的结构参数，提高热电材料的品质指数。
结论摘要：
英文主题词phonon;superlattice;period length; heat
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