中文摘要：

自由曲面光学元器件在光传输、光电子学等领域具有重要的应用价值，亚纳米级超光滑表面的制造是制约其广泛应用的瓶颈。本项目提出利用纳米颗粒显著的表面效应和化学吸附能力，借助紫外光场的光催化作用，诱导胶体射流中纳米颗粒与工件表面间的界面反应，实现自由曲面光学元器件亚纳米级超光滑表面的加工。本项目将首先研究紫外光场与胶体射流动压场之间的能量耦合规律，探索紫外光诱导纳米颗粒胶体射流加工过程中亚纳米级超光滑表面形成的微观机理；在此基础上，建立紫外光诱导纳米颗粒胶体射流加工中材料去除的物理化学模型和描述主要工艺条件与加工表面质量之间关系的预测模型；最终掌握紫外光诱导纳米颗粒胶体射流加工超光滑表面的关键技术，为实现亚纳米级超光滑表面制造提供理论及技术支持。该项目的成功实施，将为自由曲面光学元器件的亚纳米级超光滑表面制造提供一种高效率、高精度的超精密加工新技术。