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大努森数下具有穿孔谐振结构的MEMS器件挤压膜阻尼分子动力学机理
项目名称:大努森数下具有穿孔谐振结构的MEMS器件挤压膜阻尼分子动力学机理
项目类别:面上项目
批准号:51375091
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:李普
依托单位:东南大学
批准年度:2013
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