研究GaN基异质结构体系应变层的极化效应;极化与应变层材料的组份、层厚、应变、掺杂等依赖关系;极化对能带的调制作用;极化对探测器工作机理的影响,在此研究的基础上,设计出高灵敏度探测器的材料结构。研究探测器欧姆接触、刻蚀等器件的制备关键技术,最终研制出具有极化效应的高响应度的GaN基异质结构紫外光探测器。
英文主题词Ultraviolet photodetector;GaN;polarization effect;heterostructures