经过近十几年的研究,虽然在GaN/AlGan场效应器件研究领域取得了巨大进展,但在GaN/AlGaN器件中,由于强的电声子耦合导致的深中心和表面态对热电子的俘获所导致的DC、AC、及高偏置电压引起的多种电流崩塌效应仍是限制大功率场效应晶体管可靠工作的瓶颈。许多实验事实表明崩塌效应的起因与同材料的深中心和表面态相关。同传统的化合物半导体材料相比,对GaN/AlGaN材料系统中的深中心和表面态的物理特