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抗硼扩散高可靠超薄栅介质的制备和特性研究
项目名称:抗硼扩散高可靠超薄栅介质的制备和特性研究
项目类别:面上项目
批准号:69976001
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:黄如
依托单位:北京大学
批准年度:1999
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