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第七届国际金刚石及相关材料科技会议
  • 项目名称：第七届国际金刚石及相关材料科技会议
  • 项目类别：国际(地区)合作与交流项目
  • 批准号：80210210134
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：徐军
  • 依托单位：大连理工大学
  • 批准年度：2002
徐军的项目
ULSI低介电常数CNx薄膜制备及其介电性能的研究
期刊论文 11 专利 3