位置：立项数据库 > 立项详情页
基于二维伺服控制的扫描探针三维测量方法研究
  • 项目名称：基于二维伺服控制的扫描探针三维测量方法研究
  • 项目类别：青年科学基金项目
  • 批准号：61304251
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：于鹏
  • 依托单位：中国科学院沈阳自动化研究所
  • 批准年度：2013
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 4
  • 0
  • 0
  • 0
  • 0
期刊论文
基于AFM的纳米线沉积加工方法
基于AFM探针的PZT标定和纳米尺度操控
基于梯形算子的AFM驱动器非对称迟滞性校正
电触觉皮肤机理仿真与刺激模式量化评估
于鹏的项目
　半导体纳米结构三维参数测量方法研究
　半导体纳米结构三维参数测量方法研究