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　半导体纳米结构三维参数测量方法研究
  • 项目名称：　半导体纳米结构三维参数测量方法研究
  • 批准号：862902
  • 项目来源：2015年辽宁省自然科学基金资助项目
  • 研究期限：2015-07-
  • 项目负责人：于鹏
  • 依托单位：中国科学院沈阳自动化研究所
  • 批准年度：2015
于鹏的项目
　半导体纳米结构三维参数测量方法研究
基于二维伺服控制的扫描探针三维测量方法研究
期刊论文 4