中文摘要：

本项目建立了用Q3D谱仪和焦面探测器对材料表面和内部的成分和杂质进行高深度分辨弹性反冲探测技术。用HI-13串列加速器提供的重离子束分析材料中的轻元素的浓度及其深度分布。对氢．碳的分析，深度分辨达到纳米量级。本项目还建立了用DE（气体）-E（半导体）望远镜探测器进行定量分析的弹性反冲探测技术。实现了对从轻至中重元素同时地定量分析。以上技术在国内属首家。我们应用该技术对国内外正在研制的多种薄膜样品（GaN、类金刚石膜、C/LiF 多层膜、超导膜、SiCH、SiNH、SiO薄膜等）进行了分析。在此项工作的基础上提出的“用弹性反冲探测分析轻元素的深度分布”课题获得了国际原子能机构的支持，被列入国际合作研究项目“利用离子束技术分析薄膜中的轻元素及其深度分布”。我们的技术和结果已被收入该合作项目的总结报告（IAEA-TECDOC-1409）。