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　大行程静电驱动纳米定位系统耦合动力学设计与分析方法研究
  • 项目名称：　大行程静电驱动纳米定位系统耦合动力学设计与分析方法研究
  • 批准号：15ZZ010
  • 项目来源：2015年度上海市教育委员会科研创新项目
  • 研究期限：2014-11-
  • 项目负责人：张文明
  • 依托单位：上海交通大学
  • 批准年度：2015
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