位置：立项数据库 > 立项详情页
光学邻近效应研究
  • 项目名称：光学邻近效应研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：69677024
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：郭永康
  • 依托单位：四川大学
  • 批准年度：1996
郭永康的项目
厚层光致抗蚀剂光刻技术研究
期刊论文 3
大口径衍射光学元件集成新技术研究
期刊论文 13 会议论文 6
“光学科学与技术”国际会议－国际光学工程学会第48届年会