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　Si衬底上的高速Ge光电探测器集成技术
  • 项目名称：　Si衬底上的高速Ge光电探测器集成技术
  • 批准号：2006AA03Z0415
  • 项目来源：“十一五”国家高技术研究发展计划（863计划）新材料技术领域2006年度专题课题
  • 研究期限：2006-11-
  • 项目负责人：成步文
  • 依托单位：中国科学院半导体研究所
  • 批准年度：2006
成步文的项目
硅基高速光接收机集成芯片基础研究
期刊论文 6
硅基锗材料外延及其相关器件基础研究
期刊论文 141 会议论文 16
硅基锗锡合金材料外延生长机理研究
期刊论文 35
绝缘层上SiGe材料的制备及弛豫机理研究
期刊论文 18 会议论文 7 专利 2
锗锡合金中锡的迁移动力学研究