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电脉冲调控的铜在硅通孔内自底向上沉积及纳米孪晶生长
  • 项目名称：电脉冲调控的铜在硅通孔内自底向上沉积及纳米孪晶生长
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：51471180
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：祝清省
  • 依托单位：中国科学院金属研究所
  • 批准年度：2014
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
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期刊论文
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