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用于三维电化学微加工技术的五自由度微定位系统研究
  • 项目名称：用于三维电化学微加工技术的五自由度微定位系统研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：50175019
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：孙立宁
  • 依托单位：哈尔滨工业大学
  • 批准年度：2001
孙立宁的项目
第三届海峡两岸制造技术研讨会
　纳米级精密定位及微纳操作技术与装备
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纳米结构与器件跨尺度三维操纵与互连的基础研究
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