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基于半导体微机械加工技术的三维力传感器研究
项目名称:基于半导体微机械加工技术的三维力传感器研究
项目类别:专项基金项目
批准号:69985007
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:梅涛
依托单位:中国科学院合肥物质科学研究院
批准年度:1999
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