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低损伤超精密磨削硬脆晶体的摩擦化学反应机理研究
项目名称:低损伤超精密磨削硬脆晶体的摩擦化学反应机理研究
项目类别:青年科学基金项目
批准号:51505063
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:高尚
依托单位:大连理工大学
批准年度:2015
成果综合统计
成果类型
数量
期刊论文
会议论文
专利
获奖
著作
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期刊论文
工件旋转法磨削硅片的磨粒切削深度模型
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