中文摘要：

光学位移传感器精度很高，应用广泛。但缺少兼具体积小精度高的位移传感器。本课题研究了微（型）Nd:YAG激光器光回馈位移测量原理并进行了实验，研制成一个位移测量的装置。装置的核心由一个Φ5mm×1mm的Nd:YAG微片激光器，和一个内置波片（45度相位延迟）的双折射外腔组成，该装置直径Φ25mm，长度仅80mm左右。原理在回馈外腔中置入双折射元件，激光器沿该双折射元件快、慢轴两个方向的输出功率均被外腔回馈镜调制，即获得两路相位差90度的激光回馈信号，对这两路信号做高精度细分和判向，即可实现对外腔回馈镜位移量的高精度测量。实验验证了申请报告所提出的测量原理的正确性。目前已研制成结构简单紧凑的光回馈测微仪原理样机，具有性价比高、可溯源等优点，测量范围几十毫米，分辨率达26.6nm。 已发表刊物文章5篇，全部为SCI收录，发表国际会议文章1篇，EI，ISTP收录。培养博士生1名，硕士生2名。