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　无掩模纳米光刻机理、关键技术、工艺创新与应用基础研究
  • 项目名称：　无掩模纳米光刻机理、关键技术、工艺创新与应用基础研究
  • 批准号：2010CB934102
  • 项目来源：2010年度国家重点基础研究发展计划（973计划）项目
  • 研究期限：2010-01-
  • 项目负责人：赵震声;贺军辉;熊玉峰;全保刚;郭延军;郭圣明;穆璇丽;李晓军;王荷蕾
  • 依托单位：中国科学院理化技术研究所;国家纳米科学中心
  • 批准年度：2010
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 4
  • 0
  • 0
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期刊论文
变换光学的物理原理和前沿进展
Superstructure transformations from hexagonal to tetragonal microplates and nested two-dimensional nanonetworks
Raman scattering in In/InOx core-shell structured nanoparticles
A novel hanging bowl-shaped mask for the fabrication of vertical sidewall structures
赵震声;贺军辉;熊玉峰;全保刚;郭延军;郭圣明;穆璇丽;李晓军;王荷蕾的项目